一种磁控溅射工艺的咖啡色调色技术

基本信息

申请号 CN201911358456.4 申请日 -
公开(公告)号 CN111057994A 公开(公告)日 2020-04-24
申请公布号 CN111057994A 申请公布日 2020-04-24
分类号 C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张俊峰;赵子东;吕治斌;张大剑 申请(专利权)人 上海子创镀膜技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201505 上海市金山区金山工业区金飞路808号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种磁控溅射工艺的咖啡色调色技术,它涉及真空镀膜技术领域。其在基片上依次通过Ti打底层,再通过真空磁控溅射的方法镀TiN过渡层、TiCN功能层,最后使用磁控溅射镀TiCN颜色层,达到最终稳定的表面涂层颜色。本发明制备得到的每层膜都能起到不同的功能性与颜色过渡的作用,该种膜层具有高硬度、高耐磨性、很好的耐腐蚀性和化学稳定性的特点,通过各个膜层的颜色递进能够大幅度提高工件的外观装饰性能,应用前景广阔。