一种磁控溅射工艺的咖啡色调色技术
基本信息
申请号 | CN201911358456.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111057994A | 公开(公告)日 | 2020-04-24 |
申请公布号 | CN111057994A | 申请公布日 | 2020-04-24 |
分类号 | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 张俊峰;赵子东;吕治斌;张大剑 | 申请(专利权)人 | 上海子创镀膜技术有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 201505 上海市金山区金山工业区金飞路808号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种磁控溅射工艺的咖啡色调色技术,它涉及真空镀膜技术领域。其在基片上依次通过Ti打底层,再通过真空磁控溅射的方法镀TiN过渡层、TiCN功能层,最后使用磁控溅射镀TiCN颜色层,达到最终稳定的表面涂层颜色。本发明制备得到的每层膜都能起到不同的功能性与颜色过渡的作用,该种膜层具有高硬度、高耐磨性、很好的耐腐蚀性和化学稳定性的特点,通过各个膜层的颜色递进能够大幅度提高工件的外观装饰性能,应用前景广阔。 |
