一种新型真空腔室用狭缝门阀
基本信息
| 申请号 | CN202210062319.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114576369A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114576369A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | F16K1/20（2006.01）I;F16K1/32（2006.01）I;F16K1/46（2006.01）I;F16K31/12（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 张俊峰;赵子东;李青山;魏庆瑄 | 申请（专利权）人 | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海尊肃专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201506上海市金山区金山工业区金飞路808号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型真空腔室用狭缝门阀，包括阀板结构、驱动机构与防护罩，所述驱动机构包括门阀主轴、拐臂、连接轴与涨紧套，门阀主轴上装有阀板结构，门阀主轴两端通过涨紧套与拐臂连接；所述阀板结构设有多个且其间隔装于门阀主轴上，每一所述阀板结构均包括密封阀板、铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三、铰链轴、调节螺丝、隔环、门阀挡圈与O型圈，其中密封阀板上设有用于放置O型圈的燕尾槽，密封阀板后端通过铰链轴装有铰链连接板一、铰链连接板二、铰链连接板三。本发明的狭缝门阀开启采用铰链结构形式，在阀板翻转时通过铰链提升，减少了旋转半径，节省真空室空间。 |
