一种取代金靶的玫瑰金色系调试镀膜技术

基本信息

申请号 CN201911360553.7 申请日 -
公开(公告)号 CN111057995A 公开(公告)日 2020-04-24
申请公布号 CN111057995A 申请公布日 2020-04-24
分类号 C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张俊峰;赵子东;吕治斌;张大剑 申请(专利权)人 上海子创镀膜技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201505 上海市金山区金山工业区金飞路808号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种取代金靶的玫瑰金色系调试镀膜技术,它涉及真空镀膜技术领域。其在基片的表面通过真空磁控溅射沉积技术制备Cr打底层,加强基体与膜层的结合力,在第一层Cr打底层的表面产生一层TiCrN过渡层,保持膜层的连续性,在第二层TiCrN过渡层的基础上,通过真空磁控溅射沉积技术镀TiN过渡层,提高膜层颜色的均一性,通过真空磁控溅射溅射沉积技术,使用氮气、乙炔与钛靶结合在第三层TiN过渡层的表面镀TiCN颜色层,使产品表面呈现玫瑰金色。本发明制备的每层膜都能起到不同的功能性与颜色过渡的作用,降低加工成本,实用性强,性价比高,通过各膜层的颜色递进大幅度提高工件的外观装饰性能,应用前景广阔。