一种新型磁钢可调节平面阴极
基本信息
| 申请号 | CN201922413794.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211420297U | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN211420297U | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张俊峰;赵子东;许春立;魏庆瑄 | 申请（专利权）人 | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201505上海市金山区金山工业区金飞路808号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型磁钢可调节平面阴极，它涉及真空磁控溅射设备技术领域。它包括磁钢座、调节杆、靶壳、压板、磁铁、锁紧螺母、吊挂座、靶板，磁钢座通过调节杆吊挂在靶壳上，调节杆与靶壳的连接处通过压板压紧设置，压紧处通过锁紧螺母锁紧固定，所述的磁钢座上安装有磁铁，磁铁采用上下内外环形永磁体排布，外环比内环高出8mm，所述磁钢座通过槽分成多段，中间每段设置有六个吊杆孔，两端设置有四个吊杆孔，调节杆穿过吊杆孔设置，通过转动各调节杆，改变磁铁位置。本实用新型可调节靶面范围磁场强度，提高其均匀度，使靶面附近的磁场呈较为平滑地分布，使靶材较均匀地刻蚀，提高了靶材的利用率，应用前景广阔。 |
