一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒
基本信息
| 申请号 | CN201922414192.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211420298U | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN211420298U | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张俊峰;赵子东;许春立;魏庆瑄 | 申请（专利权）人 | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201505上海市金山区金山工业区金飞路808号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可调节磁钢防水型旋转阴极用磁棒，它涉及真空磁控溅射镀膜设备技术领域。磁钢座装置均匀分成有多段，每段之间开设有槽，磁钢座装置装配在型腔装置内，型腔装置采用铝型材型腔，磁钢座装置与型腔装置之间通过调节杆连接，调节杆与型腔装置的连接处通过压紧螺母压紧固定，磁钢座装置中安装有边磁钢、中磁钢，型腔装置上部通过O型圈密封设置有密封盖，型腔装置两端通过密封垫装配有A轴端、B轴端，所述的型腔装置外壁安装有防护条。本实用新型可根据表面磁场磁场强度分段式调整磁场，使整个磁钢座的表面磁场分布均匀，提高阴极靶的溅射速率、溅射膜层均匀性及靶材利用率，并且大大提高阴极靶的使用寿命，应用前景广阔。 |
