一种含铌或钽的有机化合物的制备方法、产物及应用
基本信息
| 申请号 | CN202010423502.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111440210A | 公开（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申请公布号 | CN111440210A | 申请公布日 | 2020-07-24 |
| 分类号 | C07F9/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 沈芝龙;张学奇;李建恒 | 申请（专利权）人 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波中致力专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园3号楼5层E区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种含铌或钽的有机化合物的制备方法，能够将iPrN＝M(NR1R2)3(M为Nb或Ta)的产率提升至60％以上，其产物iPrN＝M(NR1R2)3(M为Nb或Ta)具有更适合的分解温度，在热型ALD或PEALD制备薄膜领域的应用，能够满足热型ALD或PEALD对前驱体的温度要求，能够实现了更高温度的金属氧化物、氮化物薄膜的ALD沉积。 |
