一种液态双氨基取代的乙硅烷制备方法及其产物的应用
基本信息
| 申请号 | CN202011047253.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112110948A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN112110948A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | C07F7/02(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 唐超;张学奇;朱思坤;李建恒 | 申请（专利权）人 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波中致力专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园3号楼5层E区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种液态双氨基取代的乙硅烷的制备方法及其产物在薄膜ALD沉积中的应用。该方法是在惰性气体保护下，向反应容器中加入非极性溶剂和六氯乙硅烷，降温至‑20℃及以下，加入单取代的有机胺，反应后经过滤、蒸馏得到双氨基取代的四氯乙硅烷中间体，与四氢呋喃混合，降温至‑40℃及以下，再向体系中滴入含有还原剂的四氢呋喃溶液进行还原，滴加完成后将体系缓慢升至室温，并持续搅拌，然后用非极性溶剂进行萃取，将萃取溶液浓缩、蒸馏得到纯度≥99％的粗产品，精馏提纯得到纯度≥7N的液态的双氨基取代的乙硅烷。 |
