一种霍尔元件

基本信息

申请号 CN201920224166.X 申请日 -
公开(公告)号 CN209389068U 公开(公告)日 2019-09-13
申请公布号 CN209389068U 申请公布日 2019-09-13
分类号 H01L43/04(2006.01)I; H01L43/10(2006.01)I; H01L43/06(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘洪刚; 孙兵; 常虎东 申请(专利权)人 苏州闻颂智能科技有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州闻颂智能科技有限公司
地址 215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号科技创业园E幢204(苏州闻颂)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种霍尔元件,包括依次层叠设置的半绝缘衬底层、缓冲层、功能层和金属电极层,该霍尔元件还包括沿着远离功能层的方向依次叠设于功能层上的钝化层和保护层,金属电极层沿着远离功能层的方向延伸并依次穿过钝化层和保护层。本实用新型的一种霍尔元件,通过采用铟铝镓磷钝化层与功能层形成高质量的异质外延界面,可以有效钝化功能层表面,提高了钝化效果;同时通过二氧化硅层和氮化硅层的叠层结构,形成保护层,可以有效减小霍尔元件的表面应力。