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背照式图像传感器及其制造方法

基本信息

申请号 CN202110745996.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113451344A 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN113451344A 申请公布日 2021-09-28
分类号 H01L27/146（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 宋胜金;叶国梁 申请（专利权）人 武汉新芯集成电路制造有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 田婷
地址 430205湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种背照式图像传感器及其制造方法，其通过在金属栅格的侧壁设有至少两层保护层，至少两层保护层能够很好的保护金属栅格的侧壁不被水汽侵蚀，进而提升制造而成的背照式图像传感器的性能。