一种扩散设备柜温水槽控制系统
基本信息
| 申请号 | CN201820940773.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208649507U | 公开（公告）日 | 2019-03-26 |
| 申请公布号 | CN208649507U | 申请公布日 | 2019-03-26 |
| 分类号 | C30B31/04（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴文州; 刘田丰; 吴建新 | 申请（专利权）人 | 浙江良精新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 宁波浙成知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 永嘉利为新能源有限公司;安固集团有限公司 |
| 地址 | 325102 浙江省温州市永嘉县东瓯街道和一工业区（浙江良精新能源股份有限公司内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种扩散设备柜温水槽控制系统，包括带扩散恒温控制槽的柜体，所述的扩散恒温控制槽内设置有导热介质，包括恒温子系统和自动补液系统，所述的恒温子系统由依次连接的温度传感器、与温度传感器相连接的温控器、第一继电器、用于加热导热介质的加热器组成，所述的温度传感器伸入导热介质中，所述的自动补液系统包括设于恒温控制槽内的低位液位开关和高位液位开关、连接在扩散恒温控制槽补水管上的循环水泵、继电器组，同时设有恒温子系统和自动补液系统，两个子系统均采用继电器实现，其成本低、功效稳定性高且在维修方面对维修人员的要求低，便于维护。自动补水，无人工介入，避免了安全隐患。 |
