一种用于硅片表面冲洗的水刀
基本信息
| 申请号 | CN201820896852.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208643438U | 公开（公告）日 | 2019-03-26 |
| 申请公布号 | CN208643438U | 申请公布日 | 2019-03-26 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴文州 | 申请（专利权）人 | 浙江良精新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 宁波浙成知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 永嘉利为新能源有限公司;安固集团有限公司 |
| 地址 | 325102 浙江省温州市永嘉县东瓯街道和一工业区（浙江良精新能源股份有限公司内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本。 |
