一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀
基本信息
| 申请号 | CN201820899192.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208382820U | 公开（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申请公布号 | CN208382820U | 申请公布日 | 2019-01-15 |
| 分类号 | F26B21/00 | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 吴文州 | 申请（专利权）人 | 浙江良精新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 宁波浙成知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 永嘉利为新能源有限公司;安固集团有限公司 |
| 地址 | 325102 浙江省温州市永嘉县东瓯街道和一工业区(浙江良精新能源股份有限公司内) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于硅片表面刻蚀冲洗后吹干的风刀，包括纵向截面为球形的储气空腔、多根进气管、刀身和充气升压装置，所述的进气管沿长度方向设于储气空腔顶部，进气管与储气空腔内部空腔连通，所述的刀身设于储气空腔底部，刀身内沿进气管排列方向开有一条或多条相间的风槽，所述的风槽与储气空腔内部空腔连通，所述的充气升压装置将升压后的气体经进气管充入储气空腔后，经刀身内的风槽压出风槽外吹干硅片表面。风槽的设计能均匀地吹干带有水分的硅片表面，多根进气管排列的设计使整体风刀在进气和出气过程中，不会出现现有技术的风刀中进气管附近的气压较大，远离进气管的部分气压不足的问题，整体风刀的气流和气压更为均匀，吹干效果更好。 |
