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高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺

基本信息

申请号	CN201910470794.0	申请日	-
公开（公告）号	CN110190153B	公开（公告）日	2021-05-04
申请公布号	CN110190153B	申请公布日	2021-05-04
分类号	H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068	分类	基本电气元件;
发明人	瞿辉;曹玉甲;孙玉峰	申请（专利权）人	江苏顺风光电科技有限公司
代理机构	常州知融专利代理事务所（普通合伙）	代理人	路接洲
地址	213169 江苏省常州市武进高新技术产业开发区阳湖路99号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种一种高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺，包括：进舟‑升温‑恒温‑氧化‑沉积1‑推进1‑沉积2‑推进2‑氧化‑沉积3‑升温‑降温‑沉积4‑降温‑取舟。本发明通过工艺中增加高温后氧化，低温后沉积步骤结束后继续升温保持一定的高温条件下激活磷源，随后降温氧化沉积吸杂富磷，该改进的步骤可以有效的使在已经形成的PSG中的磷源能够继续向硅基体中分布，另外使得PSG中富含大量的有效磷源。该工艺的改进使得扩散后未激光区域继续保持低表面浓度，而激光重掺杂区域为高表面浓度，有效的解决了未激光区域低表面浓度与激光重掺杂区域高表面浓度的兼容问题；通过工艺的改进扩散后方阻均一性有了明显的改善；激光重掺杂区域方阻更低，金属化接触更好。