N型电池正面SE结构的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010619097.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111739958A | 公开（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申请公布号 | CN111739958A | 申请公布日 | 2020-10-02 |
| 分类号 | H01L31/0288(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 瞿辉;曹玉甲;杨松波;张强;袁玲;杨三川 | 申请（专利权）人 | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 地址 | 213123江苏省常州市武进高新技术产业开发区阳湖路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种N型电池正面SE结构的制备方法，具体为在制绒后的N型硅片上生长一层氧化层，然后按照细栅线的图形位置在氧化层上利用激光进行开槽，再进行硼扩散，后续则进行常规电池制备流程后，在开槽处印刷金属电极。由于氧化层对于硼扩散具有一定的阻挡作用，因此在硼扩散过程中，氧化层覆盖区掺杂浓度较低，可形成浅掺杂区；而开槽处则无氧化层或氧化层极薄，则形成重掺杂区，从而形成硼扩散面SE结构。 |
