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一种N型TOPCon太阳能电池的制作方法

基本信息

申请号 CN202010483586.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111628047A 公开（公告）日 2020-09-04
申请公布号 CN111628047A 申请公布日 2020-09-04
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 袁玲;王芹芹;瞿辉;曹玉甲 申请（专利权）人 江苏顺风光电科技有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 江苏顺风光电科技有限公司
地址 213123江苏省常州市武进高新技术产业开发区阳湖路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种N型TOPCon太阳能电池的制作方法，包括如下步骤：a、双面制绒：b、单面旋涂：c、单面氧化：在旋涂面形成一层含硼氧化硅层；d、形成重、轻掺杂区基底：使用掩模方式，在对应金属栅线位置形成保护重掺杂区的有机掩膜层；使用HF完全去除有机掩膜层覆盖区外的含硼氧化硅层及硼源，再去除有机掩膜层；e、完成重、轻掺杂：使用管式低压扩散法将旋涂的硼源完全推进硅基体中，形成重掺杂区；再进行整面通源沉积，形成轻掺杂区；最后进行高温氧化形成80‑100nm厚度的BSG层；后按照正常后续工序进行。本发明可使硼选择性发射极可以得到更高的光电转换效率，从而提高太阳能电池的转化效率。