P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池制备方法

基本信息

申请号	CN201910296835.9	申请日	-
公开（公告）号	CN111864008A	公开（公告）日	2020-10-30
申请公布号	CN111864008A	申请公布日	2020-10-30
分类号	H01L31/18(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	瞿辉;曹玉甲;王芹芹	申请（专利权）人	江苏顺风光电科技有限公司
代理机构	常州知融专利代理事务所（普通合伙）	代理人	江苏顺风光电科技有限公司
地址	213169江苏省常州市武进区高新技术产业开发区阳湖路99号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池制备方法，包括：进行双面制绒，形成绒面结构；双面氧化及本征多晶硅而后进行磷扩散，形成遂穿氧化钝化层；利用高温氧化工艺形成背面的掩膜层；对背面进行激光开膜并清洗，利用碱抛工艺去除正面的本征多晶硅；对背面进行硼浆料印刷，烘干形成P+层；对正面采用硼源掺杂形成P+层；利用HF去除BSG及PSG掩膜层；碱抛的方式去除多余的多晶硅层；双面氧化铝、正面氮氧化硅及背面氮化硅，形成钝化层；丝网印刷形成P+finger、N+finger；低温烧结工艺完成电池片制作。本发明在现有的PERC技术上将IBC电池的结构引入，同时引入本征非晶硅的结构，可有效提升VOC及ISC，进而大幅度的提升效率。