SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法
基本信息
| 申请号 | CN200810017967.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101251339A | 公开（公告）日 | 2008-08-27 |
| 申请公布号 | CN101251339A | 申请公布日 | 2008-08-27 |
| 分类号 | F27D17/00(2006.01);C01B31/36(2006.01) | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 王晓刚 | 申请（专利权）人 | 咸阳新能源材料产业技术研究院有限责任公司 |
| 代理机构 | 西安创知专利事务所 | 代理人 | 陕西西科博尔科技有限责任公司;咸阳新能源材料产业技术研究院有限责任公司 |
| 地址 | 710054陕西省西安市雁塔路南段84号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法，所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。SiC合成炉气体收集方法包括以下步骤：原料混合，装炉；收集装置到位，密封；空气置换；生产碳化硅；CO气体收集；停电冷却；延时收集气体；炉气置换；收集装置移出。采用该系统和方法有利于SiC合成炉气体的持续稳定回收，该系统占用空间小，对生产场地要求较低，可同时满足露天和室内生产要求。 |
