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SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法

基本信息

申请号 CN200810017967.5 申请日 -
公开（公告）号 CN101251339B 公开（公告）日 2011-05-11
申请公布号 CN101251339B 申请公布日 2011-05-11
分类号 B08B15/04(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I;F27D17/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 王晓刚 申请（专利权）人 咸阳新能源材料产业技术研究院有限责任公司
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 李子安
地址 710054 陕西省西安市雁塔路南段84号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种SiC合成炉气体收集系统及气体收集方法，所述气体收集系统包括放置在SiC合成炉之上的用于气体收集的收集装置，用于移动收集装置的离合行走机构，设置在收集装置上的检测分析装置和均衡泄压装置，设置在SiC合成炉炉体四周与收集装置接触形成封闭空间的密封连接装置，密封连接装置和/或收集装置上设置有气体出口。SiC合成炉气体收集方法包括以下步骤：原料混合，装炉；收集装置到位，密封；空气置换；生产碳化硅；CO气体收集；停电冷却；延时收集气体；炉气置换；收集装置移出。采用该系统和方法有利于SiC合成炉气体的持续稳定回收，该系统占用空间小，对生产场地要求较低，可同时满足露天和室内生产要求。