一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法

基本信息

申请号 CN201210129869.7 申请日 -
公开(公告)号 CN102659111B 公开(公告)日 2014-06-25
申请公布号 CN102659111B 申请公布日 2014-06-25
分类号 C01B33/037(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 刘丽芝;罗波;朱三平 申请(专利权)人 南京远齐环保科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 南京远齐环保科技有限公司;盐城市乐农环保科技有限公司
地址 211100 江苏省南京市江宁区秦淮路20号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法,它是利用电泳分离和超声分散相结合的方法对硅片切割废砂浆中硅粉和碳化硅进行分离回收的节能环保工艺。本发明回收方法的成本低,环境友好,节约能耗,分离效果好。通过调节悬浮液的pH值,改变悬浮液中硅及碳化硅粉体的电动电位使两粉体的电动电位处于一正一负状态;同时进行超声分散削弱颗粒之间的相互作用,以达到最佳的分离效果。回收的高纯硅微粉可以进一步用作制备单晶硅或多晶硅棒材的原料,碳化硅粉体可以制备成磨料重新用于硅棒的切割或用作其他用途。