一种晶圆测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201921744645.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210909539U | 公开（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申请公布号 | CN210909539U | 申请公布日 | 2020-07-03 |
| 分类号 | B24B41/06;B24B49/04;B24B47/12;B24B49/16 | 分类 | - |
| 发明人 | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请（专利权）人 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D座562室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶圆测量设备技术领域，尤其为一种晶圆测量装置，包括千分表表头、箱体、吸盘和固定座，所述千分表表头安装在所述固定块上表面，所述测量头安装所述固定块内，且所述测量头贯穿所述固定块、所述滑柱和所述千分表表头，所述顶丝安装在所述固定块右侧边，所述滑柱安装在所述孔槽内，且所述滑柱安装在所述千分表表头下表面，所述孔槽设置在所述固定块上表面，且所述孔槽贯穿所述固定块，所述固定块安装在所述安装支架右端面，所述安装支架安装在所述箱体上表面左侧中间位置，所述箱体首端外表面中间安装有所述操作面板，所述箱体上表面设置有孔洞，本实用新型具有测量方便读数快捷的特点。 |
