一种晶圆曝光机
基本信息
| 申请号 | CN201921744596.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210721014U | 公开（公告）日 | 2020-06-09 |
| 申请公布号 | CN210721014U | 申请公布日 | 2020-06-09 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请（专利权）人 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D座562室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，尤其为一种晶圆曝光机，包括支架和箱体，所述支架的底端安装在所述箱体上表面的左侧，所述支架另一端上安装有灯罩，所述灯罩的下端安装有曝光管，所述箱体上表面的右侧设置有转盘，所述箱体的首端设置有控制面板，所述箱体的右侧设置有料出口，所述灯罩的内部安装有灯板，且所述灯板下表面的中间位置固定有灯泡，所述曝光管的内部设置有滤波器和凸透镜，所述滤波器设置在所述凸透镜的上方，所述曝光管的底部安装有镜管，所述转盘上设置有孔洞，且所述孔洞有三个。本实用新型通过可拆卸曝光管的更换以达到焦点的变更，进而实现不同厚度晶圆的曝光。 |
