一种多管芯晶圆测试系统
基本信息
| 申请号 | CN201921743780.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211086504U | 公开（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申请公布号 | CN211086504U | 申请公布日 | 2020-07-24 |
| 分类号 | G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请（专利权）人 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D座562室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种多管芯晶圆测试系统，包括主机，所述主机将工作信号通过所述信号发射器A发射到所述信号接收器A和所述信号接收器C上，所述信号接收器A将工作信号传递到所述测试机A上，所述信号接收器C将信号传递到测试机B上，所述测试机A和所述测试机B开始工作，所述操作机A中的所述编码器会将多管芯的位置编码传递到测试机A，所述测试机A将工作信号传递到操作机A上，所述测试机B将工作信号传递到所述操作机B上，所述测试机A会将接受到的编码经处理器发送到解码器上，解码后的位置信息会经处理器分析并下发相应测试动作命令，本实用新型具有一机多控的特点，充分提高了操作者的办事效率。 |
