一种基于白光干涉的量块测量装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110535055.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113251897A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113251897A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G01B5/02;G01B9/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王毅;姜云飞;马振鹤;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;赵效楠;王一洁;郭晓锋 | 申请（专利权）人 | 苏州中科行智智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京精金石知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘俊玲 |
| 地址 | 066004 河北省秦皇岛市海港区泰山路143号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于白光干涉的量块测量装置及方法，涉及测量技术领域，包括低相干光源，分光元件，量块，光谱仪，第一透明板，第二透明板，所述低相干光源发出的光进入分光元件，从分光元件一端输出的光经第一透镜组件汇聚在量块左表面上；从分光元件另一端输出的光经过第二透镜组件汇聚在量块右表面上；从量块和第一透明板反射的光经分光元件进入光谱仪形成第一干涉光谱；从量块和第二透明板反射的光返回分光元件进入光谱仪形成第二干涉光谱；光谱仪记录这两个干涉光谱的叠加信号再传输到数据处理模块处理。本发明结合傅里叶变换的频率和相位，实现了基于白光干涉的量块的高精度测量，无需接触，操作方便。 |
