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一种表面轮廓成像装置及成像方法

基本信息

申请号 CN202110536383.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113267142A 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN113267142A 申请公布日 2021-08-17
分类号 G01B11/24 分类 测量；测试;
发明人 王毅;张鑫超;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;王一洁;赵效楠;郭晓锋 申请（专利权）人 苏州中科行智智能科技有限公司
代理机构 北京精金石知识产权代理有限公司 代理人 刘俊玲
地址 066004 河北省秦皇岛市海港区泰山路143号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种表面轮廓成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术，低相干光源发出的光束进入耦合器再进入扫描模块，经过扫描模块后的光束进入3D成像模块；3D成像模块中的分光棱镜将光束分成样品光和参考光，参考光进入参考光模块；由样品和参考光模块反射的光束经原路返回至耦合器，返回至耦合器的光束从耦合器的另一端进入光谱仪形成干涉光谱；由计算机处理形成样品表面的3D轮廓分布；2D成像模块采集样品表面2D图像并将信号传至计算机。本发明使用相对较窄的低相干光源，实现大测量范围高分辨率测量及成像，且成本低；2D成像和3D成像结果融合，实现3D结构和2D彩色双模式成像。