一种大数值孔径的像方远心物镜和飞点扫描干涉仪
基本信息
| 申请号 | CN202110919983.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113721353A | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN113721353A | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | G02B13/22（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;杜向丽;李强 | 申请（专利权）人 | 苏州中科行智智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市广友专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 张仲波 |
| 地址 | 215124江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园E1栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种一种大数值孔径的像方远心物镜及飞点扫描干涉仪，用于高扫描要求的应用需求问题。包括：物镜由6片球面镜组成，入瞳位置放置在物镜的物方焦平面位置，满足像方远心光路，第一球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于‑4且小于等于‑0.5；第三球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于1且小于等于3；第五球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于‑1.2且小于等于‑0.4。这样的物镜的干涉仪具有较高分辨率，大的接收镜面反射角，能够更好的满足扫描成像的应用需求。 |
