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一种激光微纳投影打印系统

基本信息

申请号 CN202120516371.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214645943U 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN214645943U 申请公布日 2021-11-09
分类号 B29C64/268（2017.01）I;B33Y30/00（2015.01）I 分类 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工;
发明人 魏一振;张卓鹏 申请（专利权）人 杭州志英科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 311215浙江省杭州市萧山区传化科创大厦1幢萧山科技城301-56室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种激光微纳投影打印系统，包括光源模块，光源模块包括激光器和两路光路，激光器为两路光路提供光源，两路光路的波长不同；空间调制模块，对两路光路调制分别产生第一光强空间分布图第二光强空间分布图；微缩投影模块，包括物镜，第一光强分布图和第二光强分布图成像于物镜的焦平面上；载物位移模块，用于对样品或光刻胶的三维扫描和光刻，第一光强分布图和第二光强分布图部分重叠聚焦在光刻胶上，产生非简并双光子吸收效应；控制模块，用于控制光源模块、空间调制模块和载物位移模块。本申请的激光微纳投影打印系统，能够提高打印精度和打印速度。