一种高精度激光微纳投影打印方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110263909.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113043588A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113043588A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | B29C64/124（2017.01）I;B29C64/386（2017.01）I;B29C64/268（2017.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y30/00（2015.01）I;B33Y50/00（2015.01）I | 分类 | 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工; |
| 发明人 | 魏一振;张卓鹏 | 申请（专利权）人 | 杭州志英科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 311215浙江省杭州市萧山区传化科创大厦1幢萧山科技城301-56室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高精度激光微纳投影打印方法及系统，基于非简并双光子聚合效应，采用不同波长的两束飞秒激光，利用空间光调制器产生图形化光强分布，校准调节两个空间光调制器产生的有效成像区域后，两个空间光调制器产生的两个光强分布图在光刻胶上部分重叠，部分重叠区域激发非简并双光子聚合效应进行光刻。本申请的一种高精度激光微纳投影打印方法及系统，通过“重叠投影光刻”技术来提高加工精度，同时利用空间光调制器产生图形化光强分布，实现高效率的并行微纳加工。 |
