开放式温场

基本信息

申请号 CN202111531912.8 申请日 -
公开(公告)号 CN114214721A 公开(公告)日 2022-03-22
申请公布号 CN114214721A 申请公布日 2022-03-22
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I;C30B29/22(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王宇;官伟明;梁振兴 申请(专利权)人 眉山博雅新材料股份有限公司
代理机构 成都七星天知识产权代理有限公司 代理人 严芳芳
地址 620010四川省眉山市东坡区金象化工产业园区君乐路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本说明书实施例提供一种温场装置,该温场装置放置于晶体生长炉内,且位于晶体生长炉内的感应线圈中;温场装置包括底板、第一盖板、第一筒、第二筒以及填充体;底板设置于温场装置底部,覆盖于第一筒一开口端;其中,第一盖板设置于温场装置顶部,覆盖于第一筒另一开口端;第二筒设置于第一筒内部;填充体填充于第二筒内部和第二筒和第一筒之间的空隙中;位于第二筒内部的填充体至少用于支撑埚并包覆埚的至少一部分。