开放式温场
基本信息
申请号 | CN202111531912.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114214721A | 公开(公告)日 | 2022-03-22 |
申请公布号 | CN114214721A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I;C30B29/22(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王宇;官伟明;梁振兴 | 申请(专利权)人 | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
代理机构 | 成都七星天知识产权代理有限公司 | 代理人 | 严芳芳 |
地址 | 620010四川省眉山市东坡区金象化工产业园区君乐路3号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本说明书实施例提供一种温场装置,该温场装置放置于晶体生长炉内,且位于晶体生长炉内的感应线圈中;温场装置包括底板、第一盖板、第一筒、第二筒以及填充体;底板设置于温场装置底部,覆盖于第一筒一开口端;其中,第一盖板设置于温场装置顶部,覆盖于第一筒另一开口端;第二筒设置于第一筒内部;填充体填充于第二筒内部和第二筒和第一筒之间的空隙中;位于第二筒内部的填充体至少用于支撑埚并包覆埚的至少一部分。 |
