一种用于制备金刚石的基台组件
基本信息
| 申请号 | CN201510870990.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106811737B | 公开（公告）日 | 2019-05-07 |
| 申请公布号 | CN106811737B | 申请公布日 | 2019-05-07 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I; C23C16/27（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐永炳; 朱雨; 牛卉卉 | 申请（专利权）人 | 徐州景澜新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 地址 | 221000 江苏省徐州市泉山区泉山经济开发区腾飞路6号泉山经济开发区管委会1-295 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明适用于金刚石合成技术领域，提供了一种用于制备金刚石的基台组件，包括水冷台和设置在所述水冷台上的基片托，所述水冷台和所述基片托紧密连接，其中，所述基片托近外边缘处的上下表面开设环形槽，分别形成上热桥和下热桥，所述水冷台和所述基片托之间设置有导热垫圈，所述导热垫圈设置在所述基片托下表面、以所述下热桥为界的外圈部分。 |
