晶体生长组件、晶体生长装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110440864.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113122924A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113122924A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | C30B29/36（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人 | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 刘曾 |
| 地址 | 362200福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种晶体生长组件、晶体生长装置和方法。晶体生长组件包括叶片调整环，叶片调整环包括外环体和多个叶片件；外环体用于沿坩埚的高度方向布置；叶片件沿坩埚的高度方向延伸，多个叶片件均匀间隔地设置地外环体的内壁上，且多个叶片件远离外环体的端部围合形成中心通道。其能够引导和调整生产气氛，从而保障晶体能够稳定高效地生长。 |
