晶体生长装置
基本信息
| 申请号 | CN201911308001.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110886014B | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN110886014B | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人 | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超成律师事务所 | 代理人 | 王雪 |
| 地址 | 362200福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶体生长装置，涉及晶体制备装置的技术领域，该晶体生长装置包括坩埚、包覆在坩埚的外侧的保温罩以及隔离罩；隔离罩沿坩埚的侧壁的周向环设在坩埚的侧壁与保温罩之间。本发明通过在保温罩与坩埚之间设置隔离罩，隔离罩避免了硅蒸气逸出到保温罩上，从而避免了对保温罩造成腐蚀，保证了保温罩的保温效果，提高了晶体生长的稳定性；并延长了保温罩的使用寿命，使得保温罩不需要频繁更换，也不需要加厚，节约了制备保温罩的保温材料，降低了保温罩的用料成本以及人工更换的人工成本。 |
