绝缘栅型直角复合源场板功率晶体管
基本信息
| 申请号 | CN201410660513.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104393030B | 公开（公告）日 | 2017-04-19 |
| 申请公布号 | CN104393030B | 申请公布日 | 2017-04-19 |
| 分类号 | H01L29/40(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 毛维;范举胜;杨翠;张昊;赵雁鹏;马晓华;郝跃 | 申请（专利权）人 | 陕西西安电子科大资产经营有限公司 |
| 代理机构 | 陕西电子工业专利中心 | 代理人 | 西安电子科技大学;陕西半导体先导技术中心有限公司 |
| 地址 | 710071 陕西省西安市太白南路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种绝缘栅型直角复合源场板功率晶体管，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、台面(6)、绝缘介质层(7)、绝缘栅极(8)、钝化层(9)和保护层(13)，钝化层(9)内刻有凹槽(10)，凹槽(10)内完全填充有高介电常数介质(11)，钝化层(9)与保护层(13)之间淀积有一字形源场板(12)，一字形源场板靠近绝缘栅极一侧边缘与凹槽靠近绝缘栅极一侧边缘对齐，并将一字形源场板与源极电气连接；一字形源场板与高介电常数介质构成直角复合源场板。本发明具有工艺简单、击穿电压高、可靠性高和成品率高的优点。 |
