真空设备用小车送料装置
基本信息
| 申请号 | CN202010090654.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111321386A | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN111321386A | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 胡方勤;宋振纶;郑必长;杨丽景;张青科;赵国田;旷鑫文;张太鑫 | 申请（专利权）人 | 包头希迪瑞科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李丽华 |
| 地址 | 315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种真空设备用小车送料装置，其包括支架、样品台、承载板及传动机构。样品台可滑动地设置在支架上。承载板固定在样品台的下方，与样品台相配合，以承载样品。传动机构用于带动样品台相对于承载板进行移动，从而驱动样品进行自转。本申请使得样品的多个表面能够同时进行镀膜，且能减少打开真空设备及再次抽真空的时间，有效提高生产效率。 |
