一种针对PinFin基板的快速热校准装置
基本信息
| 申请号 | CN202011115272.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112198410A | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN112198410A | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | G01R31/26(2014.01)I;G01K7/02(2021.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 邓二平;赵雨山;陈杰;谢露红;黄永章 | 申请（专利权）人 | 华电（烟台）功率半导体技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 烟台智宇知识产权事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 华电（烟台）功率半导体技术研究院有限公司 |
| 地址 | 264006山东省烟台市开发区香港路16号华日工业园2号楼101号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，具体是一种针对Pin Fin基板的快速热校准装置，包括电磁加热板，与现有技术不同的是：所述电磁加热板的上表面直接或间接抵接导热良好的槽体的下表面，所述槽体内盛装满细沙，需测量的Pin Fin基板埋入所述细沙内。与现有技术相比，本发明缩短了校准时间，提高了校准效率。 |
