一种针对PinFin基板的快速热校准装置
基本信息
| 申请号 | CN202022321075.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213302426U | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN213302426U | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | G01R31/26(2014.01)I;G01K7/02(2021.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 邓二平;赵雨山;陈杰;谢露红;黄永章 | 申请（专利权）人 | 华电（烟台）功率半导体技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 烟台智宇知识产权事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵文峰 |
| 地址 | 264006山东省烟台市开发区香港路16号华日工业园2号楼101号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体技术领域，具体是一种针对Pin Fin基板的快速热校准装置，包括电磁加热板，与现有技术不同的是：所述电磁加热板的上表面直接或间接抵接热导体材料的槽体的下表面，所述槽体内盛装满细沙，需测量的Pin Fin基板埋入所述细沙内。与现有技术相比，本实用新型缩短了校准时间，提高了校准效率。 |
