电容式MEMS麦克风及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201810631510.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108810776A | 公开（公告）日 | 2018-11-13 |
| 申请公布号 | CN108810776A | 申请公布日 | 2018-11-13 |
| 分类号 | H04R19/04 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 王高峰;吴丽翔;王俊力 | 申请（专利权）人 | 杭州法动科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 黄前泽 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢D1509号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了电容式MEMS麦克风及其制造方法。由于振膜边缘不容易振动，背电极边缘部分与振膜边缘形成的电容大小对灵敏度有很大的影响。本发明电容式MEMS麦克风，包括衬底、振膜、背电极、接线组件、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环和第二绝缘环。所述的衬底、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环、第二绝缘环依次排列并固定在一起。振膜固定在振膜支撑环上。振膜的两个侧面上均开设有多个环形槽。所有环形槽均与振膜同轴设置。氮化硅钝化保护层由保护环和保护盘组成。保护盘的靠近振膜的那侧侧面外凸设置，另一侧侧面内凹设置。导电层由导电环和导电片组成。本发明通过将振膜制作成环状结构实现麦克风的高灵敏度。 |
