双面电极结构的MEMS微镜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110545663.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113376826A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113376826A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李伟;徐静 | 申请（专利权）人 | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种双面电极结构的MEMS微镜及其制备方法。MEMS微镜包括框架；可动微光反射镜，位于所述框架内；弹性梁，与所述框架和/或所述可动微光反射镜相连接；梳齿结构，与所述框架及所述可动微光反射镜连接以驱动所述可动微光反射镜旋转，所述梳齿结构包括上梳齿与下梳齿，所述上梳齿的顶面高于所述下梳齿的顶面，且所述上梳齿与所述下梳齿在水平面上的投影交错排列；第一上梳齿电极及第二上梳齿电极，与所述上梳齿相连接，且上下相对应；第一下梳齿电极及第二下梳齿电极，与所述下梳齿相连接。采用本发明，电极引线槽的尺寸及位置等可根据设计需要灵活选择，可以极大提高器件灵活度，可以使得MEMS微镜应用范围更广。 |
