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一种光学直角反射镜及其制造方法

基本信息

申请号 CN201610038072.4 申请日 -
公开（公告）号 CN106986299B 公开（公告）日 2021-03-09
申请公布号 CN106986299B 申请公布日 2021-03-09
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 吴亚明;翟雷应;徐静 申请（专利权）人 安徽中科米微电子技术有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 余明伟
地址 233010安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种光学直角反射镜及其制造方法，该方法用于在单晶硅基片上制造光学直角反射镜，该方法包括：在基片的表面形成蚀刻掩模，所述蚀刻掩模具有使所述基片的表面露出的开口，所述基片是单晶硅片；对形成有蚀刻掩模的所述基片进行湿法腐蚀，以形成刻槽，所述刻槽至少具有相互垂直的两侧壁，两个所述侧壁是硅(110)晶面，并且两个所述侧壁与所述基片表面夹角为45°；以及在所述刻槽的两个所述侧壁覆盖光反射层，以在所述刻槽中形成直角反射镜。根据本申请的方法制造直角反射镜，其光学质量好、精度高、体积小、成本低，并且可以方便制造阵列式的多槽直角反射镜，从而获得较大面积的直角反射镜。