一种具有大镜面的MEMS转镜结构
基本信息
| 申请号 | CN202010402584.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113671689A | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN113671689A | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 徐静;李伟 | 申请（专利权）人 | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 林丽丽 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种具有大镜面的MEMS转镜结构，包括：扭转台面；转轴，对称设于所述扭转台面的相对两侧；反射镜面，通过镜面支撑体设于所述扭转台面的上方；平衡质量块，设于所述扭转台面的下方。通过本发明解决了现有伞状转镜结构存在抗振可靠性的问题。 |
