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大尺寸MEMS垂直梳齿微镜及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010350516.4	申请日	-
公开（公告）号	CN111552072A	公开（公告）日	2020-08-18
申请公布号	CN111552072A	申请公布日	2020-08-18
分类号	G02B26/08(2006.01)I	分类	-
发明人	李伟;徐静	申请（专利权）人	安徽中科米微电子技术有限公司
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	安徽中科米微电子技术有限公司
地址	233000安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层
法律状态	-

摘要

本发明提供一种大尺寸MEMS垂直梳齿微镜及其制备方法，该微镜包括：由可动镜面及固定支撑结构形成的可动微光反射镜结构；位于可动微光反射镜结构下方且与固定支撑结构键合的可动平台结构；设置于可动平台结构外侧的上梳齿结构及下梳齿结构；带有运动空间且与下梳齿结构键合的基底；位于可动镜面表面的金属反射层、位于上梳齿结构引线区域及下梳齿结构引线区域的焊盘。该结构利用MEMS工艺实现大尺寸MEMS垂直梳齿微镜的制备，将可动微光反射镜结构设置于微驱动器的上方，可实现大尺寸大转角可动微光反射镜结构的制作；另外，制作工艺简单可控，可适于大规模生产，并且可动微光反射镜结构的形状、厚度等可根据设计需要灵活选择，灵活度高，应用范围更广。