一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010843569.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114077047A | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN114077047A | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李伟;徐静 | 申请（专利权）人 | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘星 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法，该MEMS微镜包括框架、可动微光反射镜、对称折叠弹性梁结构及梳齿结构，其中，对称折叠弹性梁结构包括第一、第二折叠弹性梁，第一折叠弹性梁、可动微光反射镜及第二折叠弹性梁在第一方向上依次连接，且第一、第二折叠弹性梁相对于可动微光反射镜对称设置。本发明采用双器件层基底来制作MEMS微镜，可以简化工艺流程，提高器件的驱动及可靠性性能，并且对称折叠弹性梁结构关于可动微光反射镜具有高度对称的特征，在受到冲击或振动时不会产生任何的扭矩，提高了MEMS微镜的抗冲击或振动能力，从而使MEMS微镜的可靠性得到提升。 |
