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一种基于自准直仪的多点位测试装置及测试方法

基本信息

申请号 CN202110538492.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113218338A 公开（公告）日 2021-08-06
申请公布号 CN113218338A 申请公布日 2021-08-06
分类号 G01B11/26 分类 测量；测试;
发明人 赵旭东;方杰;杜铖柯 申请（专利权）人 安徽中科米微电子技术有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 余明伟
地址 233000 安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种基于自准直仪的多点位测试装置及测试方法，多点位测试装置包括：入射光模块，包括扩束准直激光光源、光阑、空间光开光及光路辅助镜片，所述扩束准直激光光源用于产生照射在所述光阑上的平行激光束，所述光阑用于控制平行激光束宽度，所述空间光开关设置在经所述光阑出射光的光路上，用于控制激光束通断，所述光路辅助镜片用于改变激光束的光路以将激光束照射在待测芯片上；光接收模块，包括聚光部件及像点接收屏，所述聚光部件用于将经所述待测芯片反射的激光束照射在所述像点接收屏上。通过本发明的基于自准直仪的多点位测试装置，实现大幅提高生产测试效率，降低封测成本的目的。