一种转轴结构及MEMS双轴转镜
基本信息
| 申请号 | CN202010403516.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113671690A | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN113671690A | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | G02B26/08（2006.01）I;F16C11/04（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 徐静;李伟 | 申请（专利权）人 | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 林丽丽 |
| 地址 | 233000安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种转轴结构及MEMS双轴转镜，所述转轴结构包括：导电辅梁，设于所述导电辅梁上方或下方的导电主梁，及隔开所述导电辅梁和所述导电主梁的空气间隙。通过本发明解决了现有三明治结构的外转轴存在断裂等可靠性问题及影响器件温度稳定性的问题。 |
