一种探针卡测试装置
基本信息
申请号 | CN202021564311.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212845774U | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN212845774U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 庄渊胜;蔡江梁;王强 | 申请(专利权)人 | 东莞市千颖电子有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 523000广东省东莞市高埗镇江城西路一街4号118室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及半导体测试装置技术领域,具体涉及一种探针卡测试装置,包括检测仓,还包括探针卡单元、芯片单元和检测单元,所述检测单元与所述探针卡单元连接,所述探针卡单元设有调节定位机构和探针卡夹具,所述芯片单元设有承载台、开设于所述承载台顶端的芯片容置槽和伸缩支撑件,所述芯片容置槽内设有一组相对应的限位结构,所述限位结构包括有复位弹簧、夹持块和凸块,所述伸缩支撑件分别与所述承载台底端和所述检测仓内壁底部连接,本实用新型结构简单,设计合理,探针卡夹具和待测芯片的相对位置可调,使用方便,同时,限位结构可以限定待测芯片的位置,防止待测芯片在容置槽内的移位,保证测试的可靠性。 |
