一种集成电路质子直写系统
基本信息
| 申请号 | CN202010698630.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111722477A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111722477A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H05K13/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 丁红杰;欧阳劲志;郭成明;冯雷;苏建华 | 申请（专利权）人 | 郑州中电新能源汽车有限公司 |
| 代理机构 | 西安研创天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑州中电新能源汽车有限公司 |
| 地址 | 450047河南省郑州市管城回族区博学路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种集成电路质子直写系统，包括总控系统、激光控制系统、X、Y偏转控制系统，总控系统将设计的图形和结构数据转换成控制数据，同时将数据传递给激光控制系统和X、Y偏转控制系统，分别控制质子束的产生、筛选和质子束X、Y向运动轨迹，将质子束按设计路径打到抗蚀材料上，从而完成刻写任务；而且使用质子束刻写，由于质子具有较高的质量，MeV级能量的质子束穿透力强，空间发散度小，刻出的刻痕更深，波动性小，能够刻写得更深、更细、更精确，可以在工件单位面积上刻写更加多的信息，并且能够刻写多层信息，具有能够加工超纳米大规模集成电路芯片的特点。 |
