料盒压紧组件和硅片加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202022965196.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213691979U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213691979U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙松 | 申请（专利权）人 | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张丹 |
| 地址 | 215200江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种料盒压紧组件及硅片加工设备。该料盒压紧组件包括驱动组件；压料组件，包括推板、压板及弹性件，所述推板连接于所述驱动组件，以使所述驱动组件驱动所述推板沿第一方向移动，所述压板设置于所述推板在所述第一方向上的一侧，且相对所述推板沿所述第一方向可移动，所述弹性件设置于所述推板与所述压板之间，用于提供使得所述压板具有沿所述第一方向远离所述推板的移动趋势的作用力。与现有技术相比，本实用新型能够避免料盒被压坏和被压变形。 |
