太阳能电池的制备方法、制备装置及太阳能电池

基本信息

申请号 CN202110239300.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113130673A 公开(公告)日 2021-07-16
申请公布号 CN113130673A 申请公布日 2021-07-16
分类号 H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 龚志清;沈春涛 申请(专利权)人 苏州迈为科技股份有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 姚忠琦
地址 215200江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种太阳能电池的制备方法、制备装置及太阳能电池。该制备方法包括:提供轻掺杂的硅片,轻掺杂的硅片包括多个待激光重掺杂的第一预设区域;获取轻掺杂的硅片的方阻值分布;根据方阻值分布确定多个第一预设区域的激光重掺杂功率;根据激光重掺杂功率对多个第一预设区域进行激光重掺杂,以使激光后的任意两个第一预设区域的方阻值的差满足预设范围。上述太阳能电池的制备方法,可为多个待重掺杂的区域分别匹配合适的激光重掺杂功率,从而有利于保障重掺杂区域的方阻一致性,更好地提高太阳能电池的光电转换效率。