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一种气体浓度检测的高光谱系统

基本信息

申请号 CN201911068521.X 申请日 -
公开（公告）号 CN110849829A 公开（公告）日 2020-02-28
申请公布号 CN110849829A 申请公布日 2020-02-28
分类号 G01N21/31;G01N21/03 分类 测量；测试;
发明人 廉玉生;刘子龙 申请（专利权）人 苏州智曜科技有限公司
代理机构 中国兵器工业集团公司专利中心 代理人 苏州智曜科技有限公司
地址 215228 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号10号楼410室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种气体浓度检测的高光谱系统，光源发出的光线经准直镜准直后形成具有设定数值孔径的平行光，入射到光学吸收腔的物镜，并在光学吸收腔的物镜和场镜之间进行多次折返，通过多次折返，被光学吸收腔内气体吸收后的光线入射至双光路干涉结构的分束板上，入射至分束板的光线被1:1分为两路，一路由分束板反射至平面反射镜，经平面反射镜反射至分束板，由分束板透射至会聚镜；另一路由分束板透射至立方角反射镜，经立方角反射镜反射至分束板，最后由分束板反射至会聚镜；会聚镜将两路光线会聚，并成像至探测器上。本发明有高光谱分辨率和高通量的优势，可得到较高信噪比的高分辨率光谱数据，最终提升检测系统的浓度检出限。