一种痕量气体浓度检测的光谱系统

基本信息

申请号 CN201921885918.3 申请日 -
公开(公告)号 CN211877753U 公开(公告)日 2020-11-06
申请公布号 CN211877753U 申请公布日 2020-11-06
分类号 G01N21/31(2006.01)I;G01N21/03(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 廉玉生;刘子龙;郭得民 申请(专利权)人 苏州智曜科技有限公司
代理机构 中国兵器工业集团公司专利中心 代理人 苏州智曜科技有限公司
地址 215228江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号10号楼410室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种痕量气体浓度检测的光谱系统,光源发出的光线经准直后,形成不同角度的平行光,入射到光学吸收腔,在物镜和场镜之间进行多次折返,被光学吸收腔内气体吸收后的光线,入射至非对称三角共路结构的分束板上,入射至分束板的光线被1:1分为两路,一路由分束板透射至第一平面反射镜,经第一平面反射镜反射至第二平面反射镜,再经过第二平面反射镜反射至分束板,最后由分束板透射至会聚镜;另一路由分束板反射至第二平面反射镜,经第二平面反射镜反射至第一平面反射镜,再由第一平面反射镜反射至分束板,最后由分束板反射至会聚镜;会聚镜将两路光线会聚,并成像至线阵探测器上。本实用新型具有低成本、高通量、高信噪比的优势。