一种痕量气体浓度检测的光谱系统
基本信息
| 申请号 | CN201911068497.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111208072A | 公开（公告）日 | 2020-05-29 |
| 申请公布号 | CN111208072A | 申请公布日 | 2020-05-29 |
| 分类号 | G01N21/31;G01N21/03 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 廉玉生;刘子龙;郭得民 | 申请（专利权）人 | 苏州智曜科技有限公司 |
| 代理机构 | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人 | 苏州智曜科技有限公司 |
| 地址 | 215228 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号10号楼410室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种痕量气体浓度检测的光谱系统，光源发出的光线经准直后，形成不同角度的平行光，入射到光学吸收腔，在物镜和场镜之间进行多次折返，被光学吸收腔内气体吸收后的光线，入射至非对称三角共路结构的分束板上，入射至分束板的光线被1:1分为两路，一路由分束板透射至第一平面反射镜，经第一平面反射镜反射至第二平面反射镜，再经过第二平面反射镜反射至分束板，最后由分束板透射至会聚镜；另一路由分束板反射至第二平面反射镜，经第二平面反射镜反射至第一平面反射镜，再由第一平面反射镜反射至分束板，最后由分束板反射至会聚镜；会聚镜将两路光线会聚，并成像至线阵探测器上。本发明具有低成本、高通量、高信噪比的优势。 |
